在晶圆加工、光刻、计量和其他洁净室关键应用中,Netzer 的 VLS 产品系列可实现高精度、高可靠性和经济性,助您实现下一个半导体突破。 我们的 VLS 系列专为满足半导体制造的严格要求而设计,可将传统产品转化为先进的 COTS 解决方案。
VLS 系列采用非接触式设计,具有宽安装公差和无尘室认证性能,在优化尺寸、重量和功率 (SWaP) 的同时确保了高精度。这些特性不仅是优势,而且对于要求在真空环境中实现最小排气量和超高精度的应用而言,也是必不可少的。–⁵ Torr)的应用而言至关重要。凭借传统的创新和专业知识,Netzer 为下一代半导体设备提供精密解决方案。